Inkoop en recycling van IC-wafels
Eersteklas wafeltje
Eersteklas siliciumwafels zijn de beste en de hoogste kwaliteit siliciumwafels.Het kan worden gebruikt voor de fabricage van apparaten, met eigenschappen die meestal een extreem glad oppervlak en een lage totale diktevariatie (TTV) omvatten.De uitstekende kwaliteit en het gepolijste oppervlak met de mogelijkheid om strakkere weerstandsspecificaties te bieden, zijn iets dat wafels van topkwaliteit tot de beste maakt.Het biedt een uitzonderlijke kwaliteit, een gepolijst oppervlak en een langere levensduur.
| 6 duim (150mm),8 duim (200mm),12 duim (300mm) |  |  |
Testkwaliteit wafeltje/dummy wafeltje
Dummy wafer (ook wel testwafers genoemd) is een Si-dummywafer die voornamelijk wordt gebruikt voor experimenten en testen.Wafels van testkwaliteit zijn van hoge kwaliteit, maar hebben minder strenge eigenschappen dan wafels van eersteklas kwaliteit.Dienovereenkomstig worden teruggewonnen wafers meestal toegepast als dummy grade wafers (testwafers).Wafels van testkwaliteit worden vaak gebruikt in toepassingen die een grote hoeveelheid wafels vereisen voor het testen van apparatuur en fabricage.In elk proces worden filmdikte, drukweerstand, reflectie-index en de aanwezigheid van flipperkasten gemeten met behulp van dummy wafers (testwafers).
| 6 duim (150mm),8 duim (200mm),12 duim (300mm)
|  |  |
Wafer-/monitorwafels van testkwaliteit
Monitorwafels zijn de kale siliciumwafels die moeten worden gebruikt in het geval dat een aanpassing nodig is in elke productiestap voorafgaand aan de daadwerkelijke IC-productie.Wanneer bijvoorbeeld de voorwaarden van elk proces worden bepaald, zoals het geval van het meten van de tolerantie van het apparaat tegen (de variatie van) substraatdikte, worden co-roll siliciumwafels voor afstandswafels gebruikt als vervanging van hoogwaardige en hoogwaardige wafels .Bovendien worden ze samen met productwafels ook gebruikt voor de monitoring in het proces.
| 6 duim (150mm),8 duim (200mm),12 duim (300mm) |  |  |
teruggewonnen wafel
Vanwege de hoge kosten van eersteklas silicium en de grote verbruikte volumes,veel halfgeleiderfaciliteiten gebruiken teruggewonnen wafels om hun productieprocessen en apparatuur te optimaliseren en te bewaken.Reclaim omvat het verwijderen van ongewenst materiaal van de wafer met een combinatie van droge en natte processen, en vervolgens polijsten en reinigen van de wafer om het siliciumoppervlak te herstellen tot een bruikbare kwaliteit.De aard van het typische proces vereist enige verwijdering van silicium.De bron van de teruggewonnen wafels is afkomstig van de monitorwafels en de dummywafels, maar niet de defecte wafels in de halfgeleiderfabriek.Het terugwinnen van deze monitorwafels en dummywafers om ze op te knappen, kan de bedrijfskosten van een fabriek drastisch verlagen.
| 6 duim (150mm),8 duim (200mm),12 duim (300mm)
|  |  |
Gesputterde wafel
Het sputterproces is ontworpen om ultraschone metaal- en diëlektrische films af te zetten.Alle wafelbewerkingen, inclusief metaalafzetting, worden uitgevoerd in een cleanroom.Een in-situ RF-etsing is noodzakelijk voor het proces om een goede filmadhesie en ohms contact met onderliggende geleidende lagen te verzekeren.Alle sputterfilms zijn verkrijgbaar op siliconenwafels met een diameter tot 300 mm.We hebben de vraag naar een grote verscheidenheid aan gesputterde niet-edele metalen, diëlektrische films en silicium.De meest populaire sputterfilms zijn: koper, aluminium, nikkel en andere.
| 150〜300mm |  |  |
Ander halfgeleiderwafeltje
Gedessineerde wafel.Gedessineerde siliciumwafels hebben dezelfde kwaliteits- en reinheidseisen als standaard gevormde siliciumwafeltjes.(Onbewerkt) Kale Wafer.Een grote kale siliciumwafel, of SDB, is een siliciumwafel met een diameter van meer dan twintig centimeter.Efficiënte productie- en fabricageprocessen voor halfgeleiders beginnen met kwaliteitscontrole van onbewerkt silicium en epitaxiale wafels.Metalen septumwafel.Niet-metalen septumwafel.Anderen halfgeleiderwafeltje.
| 200&300mm |  |  |